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三坐標測量機對環境要求比較嚴格，應按合同要求嚴格控制溫度及濕度。三坐標測量機使用氣浮軸承，理論結構，但是如果氣源不干凈，有油、水或雜質，就會造成氣浮軸承阻塞，嚴重時會造成氣浮軸承和氣浮導軌劃傷，所以每天要檢查機床氣源，放水放油，定期清洗；過濾器及油水分離器。
還應注意機床氣源前級空氣來源，空氣壓縮機或集中供氣的儲氣罐也要定期檢查；三坐標測量機的導軌加工精度很高，與空氣軸承的間隙很小，如果導軌上面有灰塵或其它雜質，就容易造成氣浮軸承和導軌劃傷，所以每次開機前應清潔機器的導軌，金屬導軌用航空汽油擦拭（120或180號汽油），花崗巖導軌用無水乙醇擦拭。
切記：在保養過程中，不能給任何氣浮軸承、導軌上任何性質的油脂；定期給光桿、絲桿、齒條上少量防銹油；測量機即使長期不用，也應保持有效環境的溫度濕度。
為此，建議定期開空調除濕，防止高溫高濕環境對測量機造成損害；在長時間沒有使用三坐標測量機時，在開機前應做好準備工作：控制室內的溫度和濕度（24小時以上），在南方濕潤的環境中還應該定期把電控柜打開，使電路板也得到充分的干燥，避免電控系統由于受潮后突然加電后損壞。然后檢查氣源、電源是否正常；開機前檢查電源，如有條件應配置穩壓電源，定期檢查接地，三坐標維修，接地電阻小于4歐姆。
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計算方法采用7參數坐標變換法。由于點云不存在扭曲和縮放，因此點云坐標轉換為剛體變換，縮放因子為1，其他6參數包括3個角度轉換量、3個坐標平移量。
設兩個測站點云集合P={pi}， Q={qi}，i=1，2，···，N，以式(1) 為目標函數采用下限值二乘法計算得到R和T的解答，使得f(R，T) 達到下限
式中，R表示旋轉矩陣;T表示平移矩陣。
2.2基于面的ICP準確匹配
為了解決ICP算法效率問題，提高算法準確度，首先對點云按下列步驟進行預處理：
(1)對測站點云包圍盒按某初始邊長均勻劃分為立方體柵格。
(2)遍歷每一個立方體柵格，將其內的點云采用下限值二乘法擬合成平面。
(3)若擬合的平面的標準偏差小于閾值，則對立方體柵格內的點云計算重心點，記錄重心點的坐標和所擬合平面的法向量。
(4)否則，立方體柵格內的點云的點個數大于閾值，且立方體柵格邊長大于規定曉得邊長，三坐標搬遷，則將該立方體柵格繼續均勻細分為8個小立方體柵格，重復步驟(2)。
(5)全部立方體柵格處理完畢，產生了由含平面法向量的重心點構成的新點集。
首先按照初始邊長為1m劃分立體空間塊，按照上述步驟對各測站內點云進行預處理，設定方塊平面擬合標準偏差閾值為2cm，方塊內少點個數設為100，三坐標買賣，下限邊設為20cm。
在粗拼接提供了初始配準矩陣的前提下，對預處理后的點云采用點到切平面的ICP算法[13]進行測塊內多站自動準確拼接。設經上述處理后兩測站新點集為P'、Q'，則目標函數為式(2)，求R'和T'的解答，使得f(R'，貴陽三坐標，T') 達到下限
式中，R'為旋轉矩陣；T'為平移矩陣；qi為Q'中的點；pi為P'中的點；Hpi為pi對應的切平面;D(R'qi+T'，Hpi)為點qi到切平面Hqi的距離。
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