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一般來說精密光學儀器，對環境溫度有一定的要求，各種不同材料組成的部件因為膨脹系數的不同也會發生扭曲、變形，與基本的基準產生偏差；其光學元件儀器的散熱效率減少變化，這種微小變化將導致光學系統的性能發生變化；室溫偏高會可使儀器的散熱效率減少，導致儀器內部因溫度升高導致儀器的電子元件的性能降低、使用壽命縮短、絕緣性能降低，例如在ICP光譜儀中光學元件受環境溫度高低變化就會產生譜線漂移現象，導致測定數據精密度過高，操作者難以準確測定數據；溫度偏低會使電容電感電阻器的參數改變，導致性能發生變化。
由于電子元器件特別是集成電路要求在合適的溫度范圍內工作，因此為保證儀器的精密度和延長其使用壽命，應讓儀器始終處于符合要求的環境溫度。ICP光譜儀在工作過程中如果超過了環境溫度的設定范圍，就會出現儀器尋峰不準無法分析、測定標準樣品數據時高時低等故障現象。時間證明，溫度不穩定、變化太大大可使樣品檢測出的數據超出了標本10%以上。
因此為了保證ICP光譜儀的正常運行并結合人的生理特點，建議把環境溫度的范圍設置在（21~26）°C，環境溫度2h內變化應該小于±1°C。
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?關閉儀器面板上光源開關（SOURCE）；
?打開發光室的門，利用專用工具—電極規夾夾住電極棒，擰松電極座上的鎖緊螺母，取出電極棒（注意：在松開螺母后，不可松開專用夾具，以免電極棒掉入電極座內）；
?利用240#砂紙或磨床，對電極棒進行研磨，研磨角度為30度。
?將電極放入專用夾具夾口中，須注意電極放入的長度，再將電極棒放入夾嘴內，擰緊鎖緊螺母固定電極棒，取回電極夾規；
?關好發光室門，接通開關面板上的光源電關（SOUCRE）。然后進行電極標準化放電。
2發光臺清掃
?儀器激發（放電）3000次后，須進行發光臺清掃保養；
?關閉儀器面板上光源開關（SOURCE）；
?打開發光室門，利用專用工具取出電極棒及電極座；
?將電極座拆下后，將密封圈拆下，酉陽光譜儀，用紗布對電極座進行擦拭干凈，不可用砂紙打磨；
?取出電極座上的密封圈，將電極座嘴、密封圈及墊片用脫脂棉或紗布擦拭干凈后，將密封圈抺上真空硅脂放入相應位置；
注意：經常使用的墊片是有正反面的不可放反。
?利用240#砂紙或磨床，對電極棒進行研磨，研磨角度為30度。
?將發光臺接觸及火花室中污垢用脫脂棉或紗布擦拭干凈；
?將電極座裝回發光臺上；
?將電極放入專用夾具夾口中，須注意電極放入的長度，再將電極棒放入電極空隙規內，擰緊鎖緊螺母固定電極棒，便攜式光譜儀收售，取回電極夾規；
?關閉發光室，接通光源開關（SOUCRE）。然后進行電極標準化放電。
3透光鏡清掃
?儀器激發（放電）3000次后，須對透光鏡進行清掃：或Fe1的強度低于5.5時清掃。
?關閉儀器面板上光源開關（SOURCE）。建議也關掉真空泵。
?打開發光室門，握住手柄，將透光鏡向上拉，直讀光譜儀，至鏡片可見；?用專用工具—透鏡裝卸工具，將聚光透鏡取出；
?用沾有酒精的紗布或擦相機紙擦除聚光透鏡上的污垢，然后用干凈干的紗布輕輕擦拭；如果污垢嚴重，可用牙膏擦拭；
?用專用工具將聚光透鏡旋回透光鏡板上；
?握住手柄將透光鏡板壓下（：在拉出透光鏡后，不得將未裝聚光鏡片的架壓下）；
?關閉發光臺門，光譜儀原理，打開光源開關、真空泵開關。
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