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由于側重點不同，各國制造商和計量標準部門對三坐標測量機提出了若干份計量標準。在各國的標準中，所推薦使用的標準器也是不完全相同，可以根據測量目的和要求加以選擇。
標準三坐標測量機所用的標準器種類繁多，在周期校準中，通常采用的標準器是雙屏激光干涉儀、量塊、步距規等。在中間檢查中通常采用的標準器是量塊、步距規、球板、孔板、標準球、球棒、環規、3D標準器等。下面介紹常用的三種標準器。
一、量塊
量塊是對三坐標測量儀進行示值誤差校準時常用的實物標準器。它的優點是使用廣泛、安裝操作簡便、溯源能力強、準確度高；缺點是測量時間長、大測量長度只有1m。
用量塊測量時，需將選取的不同長度的量塊安裝在專用支架上，二次元測量機廠家，使量塊的方向與要測量的軸或空間方向一致。專用支架上有可調節的支撐點，安裝量塊時應該注意將量塊支承在離兩端0.2113L（L為量塊長度）的支承位置上，以保證量塊的兩個測量面相互平行。
測量結果中應引入標準量塊修正量和溫度偏離20℃時的溫度修正。
二、球板
標準規范中引入了球板作為長度測量不確定度評 價的一種可選擇的工具。它的優點是操作簡便、快速，溯源能力強，球板是二維標準器，可獲得比一維標準器更豐富的信息，如對25個球的球板進行測量，可以得 到300個長度測量值，對25個球的球板進行兩個相交位置的測量將得到600個測量數據。通過球心距的測量可以計算得到三坐標測量機所有幾何參數。球板的 校準方法并不復雜，但校準的不確定度比量塊差，同時球板的大和小長度尺寸受到限制。球板對較低準確度的中小型坐標測量機是可選的標準器。
使用球板作為標準器，是通過計算點間距離進行長度測量示值誤差的校準。
常用的球板為5行x5列，240mmx240mm，332mmx332mm，532mmx532mm。大的球板可制成1mx1m，有17行x17列標準球。球板為鋼制材料，標準球為陶瓷材料制成，通過液氮冷卻技術將陶瓷卡緊固定。標準球在球板的兩面均可探測到。
三、雙頻激光干涉儀
雙頻激光干涉儀是一種高準確度、便攜式的干涉測量儀器。由于其信號的抗干擾能力較強，結構緊湊、信號穩定，不僅可在實驗室條件下使用，二次元測量機維修，也適用于車間現場， 其測量長度可達十幾米乃至幾十米。此外，貴州二次元測量機，它的使用范圍也廣泛，除測長外，如配以相應的光學附件，還可以進行直線度、小角度、平面度、速度、平行度的測量， 也可以用來校準三坐標測量機三個運動方向的垂直度等。是精密機械、船舶和飛機制造業中大尺寸精密測量的不可缺少的精密儀器，技術相當成熟。
雙頻激光干涉儀的特點是測量準確度高，儀器固有系統誤差僅 為0.1Lum（L為測量長度，單位是m），測量范圍大，測量數據豐富，適合測量三坐標測量機各項幾何誤差。但設備昂貴需要專門配備，技術性強，對操作人 員要求高，較費時，并且對測量任務不能直接溯源，較適合三坐標測量機的出廠驗收檢測和對大型三坐標測量機示值誤差的附加校準。
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一、光柵測長機GC系列的功能：
GC系列A型光柵測長機是用于校準和測量各種大尺寸精密量具和精密零件的高精度專用儀器。可對工件內外尺寸進行直接測量，可實現卷尺類線紋零件的測量。
儀器底座采用花崗石制造；儀器導軌采用本公司專有技術——氣吸附滑塊系統；測量系統采用德國海德漢光柵，光柵分辨率MAX高0.1μm；儀器載物的工作臺由電機驅動升降，工作臺可實現五個自由度運動。
儀器計算機采集數據，手動精密影像儀，并實現分析，提供報告，采數直觀，操作方便。
其主要功能：
1、4等、5等量塊直接測量和比較測量。
2、外徑千分尺校對量棒直接測量。
3、光面環規塞規測量。
4、卷尺刻畫精度的測量。
二、光柵測長機GC系列的特點：
1、花崗石基體穩定性好。
2、帶負壓氣浮導軌系統無摩擦、精度高。
3、雙導軌、矩形梁機構穩定性好、強度高。
4、德國海德漢光柵尺膨脹系數恒定。
5、獨特的驅動與觸測連接機構方便、可靠無干擾力矩。
6、頭座、尾座、萬NENG能工作臺采用氣動鎖緊機構無附加力距鎖緊可靠。
7、0-2N連續可調測力機構測力連續可調、調整方便。
8、獨特換向、無摩擦觸測機構測力換向方便、觸測重復性高。
9、采用實時溫度修正系統提高測量精度。
10、外罩時尚的專業設計美觀、大方。
三、在精密測量方面花崗巖導軌與鑄鐵導軌比較優勢明顯：
1、可獲得較高的平面度和粗糙度。
2、不生銹，易保養。
3、不磁化。
4、耐磨，不怕磕碰。
5、重載變形小。
6、線膨脹系數小，受溫度影響變形小。花崗石線膨脹系數4.61，鋼線膨脹系數11.5。
7、天然材料，無需時效，內部無應力，環保，精密影像儀，無輻射。
8、硬度高。
四、光柵測長機GC系列的主要技術參數：型號 GC2GC3GC5GC6GC8GC10GC12測量范圍 (m)235681012示值誤差 ±（0.4+L/500）μm（L=length in mm）分辨率 0.001mm/0.0001mm測量系統 光柵測量系統顯示單元 ENC7480高速計數卡-液晶顯示數據輸出 RS232注：◆高精度光柵測長機分為A/B型，A型不包含影像裝置，B型包含影像裝置。
◆本產品需要壓縮氣源，要求空壓機的排氣量≥0.5立方米/分。要求與其匹配冷干，殘油≤0.01ppm，精度0.01μm。
源興18年艱苦歲月的磨礪，市場大潮的洗禮，使源興人形成了堅毅自強的品格，自動二次元測量機，那就是堅持不懈的追求。他們追求源興更加美好的遠景，追求源興更加輝煌的明天，追求一個更加繁榮、和諧的源興！通過優質的產品和服務滿足廣大客戶的需求
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