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測頭部分是二維、三維測量機的重要部件，測頭根據其功能有：觸發式、掃描式、非接觸式（激光、光學）等。
觸發式測頭：是使用多的一種測頭，其工作原理是一個開關式傳感器。當測針與零件產生接觸而產生角度變化時，發出一個開關信號。這個信號傳送到控制系統后，控制系統對此刻的光柵計數器中的數據鎖存，經處理后傳送給測量軟件，表示測量了一個點。
掃描式測頭：有兩種工作模式：一種是觸發式模式，一種是掃描式模式。掃描測頭本身具有三個相互垂直的距離傳感器，可以感覺到與零件接觸的程度和矢量方向，這些數據作為測量機的控制分量，控制測量機的運動軌跡。掃描測頭在與零件表面接觸、運動過程中定時發出信號，海克斯康三坐標置換，采集光柵數據，并可以根據設置的原則過濾粗大誤差，稱為“掃描”。掃描測頭也可以觸發方式工作，這種方式是高精度的方式，與觸發式測頭的工作原理不同的是它采用回退觸發方式。
非接觸式激光測頭：設計這種小巧、高精度、非接觸式激光測頭，與影像測量機一起使用。該掃描測頭自動調節至工件表面特征以提供準確的測量。根據環境和工件材質自動調節激光強度和相機感光度，以便更簡單且舒適地進行激光掃描。改進的測頭在無干擾的情況下提高了測量速度和精度。
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三坐標測量機概念是什么，這里不是簡單的闡述三坐標是什么，而是要從各方面為您詳細剖析與三坐標測量機相關的重要問題。主要涉及三坐標測量機的三次元基本概念、溫度對精度的影響、21項誤差補償、精度校準設備等等，接下來就一一說明：
一、什么是三坐標測量機？
我們通常所說的三坐標測量機是指：通過探頭系統與工件的相對移動，探測工件表面點三維坐標的測量系統。它的英文名稱為COORDINATE MEASURING MACHINE簡稱（CMM），又稱三坐標測量儀或三次元。
二、環境溫度對三坐標測量儀機的測量結果影響大嗎？
三坐標測量機是集光、機、電、計算機及控制技術于一身的復雜的測量系統，因此影響其測量結果不確定的因素較多，但對于中、小型坐標來說，環境溫度偏離標準測量溫度（20℃）是影響其測量結果不確定度的主要因素。為了使三坐標能夠測出準確的結果，海克斯康三坐標，應將環境溫度嚴格地控制在坐標機說明書要求的范圍內。這也是CMM Care推行的關鍵，保證設備的正常運行環境也保證了操作人員健康的工作環境。
三、三坐標測量儀需要進行哪些項目的校準？復校間隔多長？
目前三坐標的校準依據是JJF1064-2000《坐標測量機校準規范》，規范中規定校準項目是：長度測量示值誤差和探測誤差。建議復校間隔一年。目前新機用戶往往覺得設備很新就不用維護節省經費而忽略了設備為校準帶來的隱患，導致很多老設備大修，改造甚至報廢。
四、三坐標測量儀何時需要校準21項誤差？
21項誤差是三坐標坐標機準確度的基礎，海克斯康三坐標校準，其校準是比較復雜的。規范中雖未列入，但在以下情況，21項誤差的校準是必要的：新機驗收時；長度測量誤差校準結果超差時；坐標機搬動后；坐標機修理后。
五、校準三坐標測量機需要哪些設備？
校準三坐標需要的標準器有：相應等級的尺寸至1000mm量塊；激光干涉儀；電子水平儀；方角尺；標準球等。
六、什么是5D激光干涉儀？
5D激光干涉儀是美國API公司專為數控機床和坐標機的檢測而設計生產的激光干涉儀。與其它激光干涉儀相比，它突出的特點是：一次安裝調整可同時測量定位誤差、兩個方向的直線度誤差和兩個方面和角度誤差。通過轉向棱鏡，還可測量三個軸相互之間的垂直度。配上電子水平儀就可以測量滾擺。從而輕松完成21項誤差的測量。
七、什么是三坐標測量儀的21項誤差？
三坐標有三個可運動的軸，每個軸都有1項定位誤差、5項幾何誤差。幾何誤差包括：兩個方向的直線度誤差、兩個方向的角度誤差。三個軸共有18項，加上三個軸相互之間的垂直度，共有21項誤差。這21項誤差是坐標機測量結果不確定度的另一主要因素。
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