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采用接觸式測頭測量時，由于測頭半徑的影響，得到的坐標數據并不是測頭所觸及的表面的坐標，而是測頭球心的坐標，當被測點的表面法矢方向和測軸方向一致時，海克斯康三次元搬遷，測頭坐標和測頭中心相差一個測頭半徑值。如果忽略測頭半徑，即測量得到的數據不進行半徑補償處理，就會帶來數據補償誤差。因此，在對工件進行檢測之前，需對所使用的測桿進行校驗，需要對實際的接觸點與軟件紀錄的位置沿著測點矢量方向進行的測頭半徑位置的補償。

因此測量時要盡可能使測針軸線與被測表面垂直，使測頭沿著被測表面的法線方向移動，以上限度地減小測球半徑補償誤差，

通過校驗，需消除以下三方面的誤差:

(1)理論測桿半徑與實際測桿半徑之間的誤差;

(2)理論測桿長度與實際測桿長度的誤差;

(3)測頭旋轉角度之誤差。

通過校驗消除以上3個誤差，石柱海克斯康三次元，得到正確的補償值。因此校驗結果的準確度，直接影響工件的檢測結果。

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1) 多功能箱體：多功能箱有各種已標定的標準量，通過對這些標準量的測

量，海克斯康三次元維修，可以得出坐標測量機的檢測誤差。

2) 標準量塊法：用長度分別為長軸滿行程1/3，1/2和1/4的3種量塊進行

測量，一般將量塊放在測量空間中部，與其對角線找正，也可用步距規進行細致的檢測。

3) 空間球板法：在一平板的不同高度上分布著一系列鋼球，預先對球間距

進行精密標定。用測量機對球間距進行采樣時，根據被測值與標定值之間的差值可以知道測量機的檢測誤差。

4) 磁性球頭棒法：磁性球頭棒是由一根兩端固定高精度鋼球的棒和磁性球

座組成，它以球頭棒的球心距作為標準量。當球頭棒在測量空間轉動測量時，將棒長的測量值與標準值相比，就可以知道球心距的測量誤差。 5) Ren ishaw檢測規：其工作原理類似于磁性球頭棒。檢測規的轉臂在測

頭的帶動下可以在測量空間內旋轉，形成標準圓弧。轉臂長度已經精密標定，測量得到的坐標值與理想坐標值的差值為測量機各個軸向的空間誤差值。

6) 激光干涉儀法：以雙頻激光干涉儀為基礎儀器，進行位置誤差、直線度

誤差、角運動誤差和垂直度誤差的測量。采用雙頻激光干涉儀法和電子水平儀對各個單項誤差逐一測量，這種方法精度很高，但測量時間較長，而且儀器價格昂貴，對操作人員水平要求較高。在多數情況下，可以選取一些特殊的位置，使得僅有一部分幾何誤差對總的空間誤差起作用，然后根據單項幾何誤差的性質，海克斯康三次元升級，用高次多項式逼近，用較少的未知數求解，后分離出全部21項誤差，達到高精度測量的要求

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