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測量項目 |
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測量項目 |
點、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離等）、最高點、最低點、距離、角度處理（坐標夾角、直線夾角）、直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度（對數曲線）、輪廓度等參數 |
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測量范圍 |
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X軸（橫導軌） |
100mm |
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Z1軸（傳感器） |
15mm |
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Z軸（立柱） |
400mm |
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測量精度 |
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X軸 (L=X軸導軌移動距離) |
±(1.2+2L/100)μm |
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Z1軸 (H=Z1軸方向測量高度) |
±(1.8+4H/100)μm |
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X軸水平臂 |
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直線度 |
1.2μm/100mm |
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光柵分辨率 |
0.1μm |
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光柵產地 |
進口 |
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Z1軸傳感器 |
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分辨率 |
0.2μm |
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傳感器類型 |
光柵傳感器 |
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產地 |
進口 |
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移動方向 |
前/后 雙方向 |
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測力 |
0.5-6g |
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測針針尖 |
硬質合金 R：0.05mm、0.01mm |
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爬坡角度 |
上升77度 下降88度 |
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速度 |
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測量速度 |
0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義） |
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定位速度 |
0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義） |
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圖形放大/縮小 |
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圖形放大 |
可任意縮小、放大 |
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綜合調整臺 |
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綜合調整臺 |
X軸水平傾斜調整范圍：±30° Y軸方向調整范圍：±7.5mm Z軸回轉可調360度（帶微調裝置） |
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安裝要求 |
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電源 |
220-240V AC, 50HZ，單獨地線；最大功率消耗450W |
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壓縮空氣 |
純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上） |
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環境要求 |
工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無結露），良好地線，無明顯振源 |
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